真空チャンバー炉, グラファイト材断熱 - HTK GR

グラファイト炉 HTK GRは低/高真空、窒素やアルゴンといった保護ガス、水素や一酸化炭素のような反応性ガスを使用することが出来ます。グラファイト炉 HTK GRはグラファイト製断熱材のため酸素雰囲気下で使用することは出来ません。 

前面ドア付きの長方形チャンバ設計により、サンプルのロード、アンロードが容易です。HTK GRは6容量から選択できます。最小サイズの8L、中容量の25Lは研究室やR&Dに最適です。80L、220L、400L、600Lのタイプはパイロットプラント用、または生産用システムとして使用できます。

HTK GRはグラファイト製断熱材とグラファイト製ヒーティングエレメントで構成されています。最高温度2200℃のHTK GRは超高温の熱処理に最適です。ご要望により、ガスフローを制御し、温度均一性を±10℃以下に向上させるために、グラファイト製のレトルトを装備することもできます。多量のガスが発生するプロセスの場合、レトルトは発生したガスからヒーティングエレメントを保護することで炉の寿命を延ばす効果があります。

Semi-automatic Furnace HTK 8 GR 22

商品動画: 真空チャンバー炉, グラファイト材断熱 - HTK GR

アプリケーション例

グラファイト化 , 熱分解, シリコン処理, 焼結, テクニカルセラミックス

標準仕様

  • グラファイト炉は製品中で最も高温の温度を実現可能です。
  • 必要に応じて水素分圧運転も可能です。
  • 粉体加熱の為に真空ポンプの排気速度を正確に制御できます。
  • 品質管理用データ記録

真空チャンバー炉, グラファイト材断熱 - HTK GR HTK黒鉛炉の内部を見る

  1. フレーム
  2. 水冷容器
  3. 加熱カセット
  4. シーリング溝
  5. 前面ドア
  6. グラファイト製断熱材
温度均一性を向上されるため、ヒータはチャンバの上下と左右の4方向に設置されています。大容量タイプでは、優れた温度均一性を維持するため、ドアの裏側とチャンバの背面にもヒータが装備されます。HTK W、HTK MO、HTK GR、HTK KEは水冷容器に覆われており、故にHTKはコールドウォール炉に分類されます。冷却水は水冷容器のジャケット構造の内部を通過します。

ご要望により、HTK GR は最高3000℃で使用することもできます。3000℃で使用するため、計算された厚さの断熱材、発熱体の最適な配置、温度測定及び制御用のパイロメータで特別に設計されています。 パイロメータは、炉内の窓を介して光学的な方法で熱放射を直接測定し、炉に直接挿入されません。 

この計測原理は、十分な量の輻射が放出された時のみ機能し、400℃を超える温度の時に十分な輻射が発生します。低温時にはスライディング熱電対を用いて制御が行われます。 

グラファイトの蒸気が増加するために、3000℃で動作させる場合は常に不活性ガス下で行われます。加えて、高温時には炭素の蒸気圧が増加するため、グラファイトから不活性ガスに炭素蒸気が放出されます。炭素蒸気がサンプルに影響を及ぼす場合には、金属炉を使用する必要があります。

内部を見る HTK GR

真空チャンバー炉, グラファイト材断熱 - HTK GR 例

HTK 8 GR/22-1G smart up to 2200°C

HTK 25 GR/22-1G 自動で2200℃まで対応、オプションで熱分解パッケージあり

HTK 400 GR/22-1G 自動 最高温度2200°C

真空チャンバー炉, グラファイト材断熱 - HTK GR 製品仕様

断熱材材料 寸法: 外形 H x W x D (mm) Transport weight (kg) Usable space Volume (l) H x W x D, usable space without retort (mm) H x W x D, usable space with retort (mm) Thermal values Tmax vacuum (°C) Tmax atmospheric pressure (°C) -Delta-T, between 500 and 1500°C (K) according to DIN 17052 Max. heat-up rate (K/min) Cooling time (h) Connecting values 消費電力(KW) Voltage (V) Current (A) Series fuse (A) Vacuum (option) Leakage rate - clean, cold and empty (mbar l/s) Vacuum range depending on the pumping unit Cooling water required Flow (l/min) Max. inlet temperature (°C) Gas supply Nitrogen or Argon flow, others on request (l/h) Controller
HTK 8 GR/22-1G Graphite 2100 x 1300 x 1100 1200
8 200 x 200 x 200 180 x 180 x 200
2200 2200 ± 10 10 6
26.5 400 (3P) 3 x 66 3 x 80
5x10-3 rough or fine vacuum
40 23
200-2000 on request
HTK 25 GR/22-1 Graphite 2200 x 1900 x 1800 1700
25 250 x 250 x 400 230 x 230 x 400
2200 2200 ± 10 10 6
60 400 (3P) 3 x 90 3 x 125
5x10-3 rough or fine vacuum
70 23
200-2000 on request
HTK 80 GR/22-1G Graphite 2300 x 2100 x 2200 2000
80 400 x 400 x 500 380 x 380 x 400
2200 2200 ± 10 10 8
100 400 (3P) 3 x 150 3 x 200
5x10-3 rough or fine vacuum
100 23
200-2000 on request
HTK 220 GR/22-1G Graphite 2500 x 2300 x 2600 3000
220 600 x 600 x 600 560 x 560 x 560
2200 2200 ± 10 10 8
160 400 (3P) 3 x 240 3 x 315
5x10-3 rough or fine vacuum
150 23
1000-10000 on request
HTK 400 GR/22-1G Graphite 2500 x 2300 x 2600 3800
400 650 x 700 x 900 630 x 680 x 900
2200 2200 ± 10 10 12
250 400 (3P) 3 x 370 3 x 500
5x10-3 rough or fine vacuum
200 23
1000-10000 on request
HTK 600 GR/22-1G Graphite 2500 x 2500 x 2900 4500
600 650 x 750 x 1200 630 x 730 x 1200
2200 2200 ± 10 10 12-16
300 400 (3P) 3 x 450 3 x 500
5x10-3 rough or fine vacuum
2200 23
1000-10000 on request

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