液体シリコン浸透は、最新のセラミックマトリックス炭素繊維強化複合材料の製造において重要なプロセスである。
これらの複合材料は、高い熱安定性、高い熱伝導性、低密度、高い耐摩耗性などの優れた材料特性を備えています。
その特性により、C/C - SiC複合材料は、高酸化性雰囲気や超高温で選択される材料となっています。
これらの化合物の主要な製造プロセスの1つは、液体シリコン浸透法であり、より正確には多孔質C/Cの液体シリコン浸透法（LSI）です。
カーボライト・ゲロのHTBL GR真空炉で行うことができます。
炉内での熱処理中、シリコンは多孔質C/C材料の上で溶解し、材料の細孔内に拡散します。
HTBL炉の全方向へのアクセスは、この用途に非常に有利です。自動ソフトウェア制御により無人運転が可能で、適切なデータロギングが保証されます。
カーボライト・ゲロの熱分解・液体シリコン浸透プラント
カーボライト・ゲロの熱分解・液体シリコン浸透プラントを右図に示す。最初のユニットは、炭素ベースの材料の熱分解プロセスに使用されます。この熱分解は分圧モードで行うことができます。これは炉内の全圧が大気圧以下であることを意味する。典型的な脱脂温度は400℃～600℃です。この温度範囲では、温度と低圧の組み合わせによってバインダーが蒸発します。加熱されたガス出口に向かう明確な経路が、バインダーを炉から真空ポンプに吸引します。従って、真空ポンプはバインダーを汲み上げることができる特別な新油ポンプである。
2番目のHTBL型炉は、液体シリコン浸透そのものに使用されます。液体シリコンの融点は1414℃です。この炉は2000℃までの運転が可能です。
液体シリコン浸透用HTBLは、ルーツポンプを上部に備えたプレ真空ポンプユニットを備えています。
HTBLは3ゾーン加熱方式を採用しており、炉内の温度分布が改善されています。
HTBLは2台ともお客様の生産ラインに設置されました。
HTBL 80 GR/22-1Gを2台設置。1台のHTBLは熱分解プロセスに使用。もう1台のHTBLは液体シリコン浸透プロセスに使用されます。
ルーツポンプは中真空域までの排気に使用されます。特別なオイルポンプは分圧下でのバインダー除去工程をおこなうために使用されます。ポンプユニットは独立した架台に取り付けされています。
シリコナイズ前の元位置にある羽根：羽根はグラファイトロッドに対して直角です。グラファイトロッドはお互い平行です。次の写真はシリコナイズ後の同じるつぼの写真です。
液体シリコン浸透後に撮影した、前の写真と同じルツボ。いくつかのベーンも元の位置からずれている。
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