自動昇降式垂直チューブ炉 - V-L

The V-L is a vertically mounted tube furnace with automated furnace movement, enabling controlled loading and unloading, heating, and cooling processes. The quartz retort is connected to the furnace system so that the sample area can be accessed easily during loading. For the heat treatment process, the retort and furnace assembly are lowered and locked into position, allowing high-vacuum or controlled-atmosphere operation.

加熱後、炉をクォーツレトルトから離して持ち上げることができ、真空、空気、または不活性ガス雰囲気下での試料の急速な冷却をサポートします。このトップハット設計により、ユーザーはサンプルスペースへのアクセスが向上し、クリーンな熱処理がサポートされ、プロセスサイクルタイムの短縮に役立ちます。

炉は耐久性のあるCrFeAl発熱体と高性能セラミック繊維断熱材を使用しています。3つの独立した制御された加熱ゾーンが優れた温度均一性を提供します。ゾーンはマントル熱電対で監視され、プロセスの安全性のために追加の過熱熱電対があります。密閉されたセラミック繊維プラグが炉の炉頂を閉じ、運転中の熱安定性を維持します。

V-Lは、残留酸素と表面酸化を最小限に抑える必要があるプロセス用に設計されています。チタンとチタン合金を真空中または不活性ガス中で加熱すると、残留酸素と高い反応性を保つことができます。PDFでは、高真空は金属から表面水と酸化物を放出するのを助け、熱処理時に酸化に使用できる酸素を減少させると説明されています。

報告されたカーボライト研究では、レーザー粉末床融解で生成されたTi-6Al-4V試料をEDX分析して酸素濃度を測定し、その後熱処理を行った。高真空プロセスは、テストした試料の大気圧での熱処理と比較して酸化を38%低減した。これにより、V-Lは、クリーンなストレスリリーフアニーリングと添加剤製造部品の熱処理のための強力なオプションとなる。

圧力プロファイルは、加熱中にプロセス雰囲気がどのように変化するかも示しています。水のアウトガスは、約200℃から500℃の間で最もよく表れますが、一酸化炭素のアウトガスは、約600℃から850℃の間で発生します。熱処理後、ターボ分子ポンプは、より低い温度で脱着プロセスが減少するにつれて圧力を安定させます。

V-L真空炉は、高真空および制御雰囲気の熱処理の幅広い用途に対応します。