IQ-Sは、小型でデリケートな部品の処理のために特別に開発されました。均一な加熱、制御されたプロセス雰囲気、そして迅速で自動化されたクエンチング機構を一つのコンパクトで使いやすいシステムに統合しています。
概要 可能な構成
最高温度: 1100 °C or 1200 °C
作業管最大外径 Ø: 110 mm
加熱長: 500 mm
加熱ゾーン数: 1 and 3 zones
動作原理
自動移送システムがサンプルを加熱ゾーンと冷却ゾーンの間で正確に移動させます。これにより、部品を取り出すことなく、真空、不活性ガス、反応ガスなどの制御されたプロセス雰囲気を連続的に維持しながら、プロセス温度からクエンチング段階への極めて迅速な移行が可能になります。これにより、プロセスの信頼性と部品の品質が大幅に向上します。
可能なサンプルホルダー材料には以下が含まれます。
- グラファイト インコネル
- APM
概要では、そりがホットゾーンにいることが示されています
概要では、そりがホットゾーンにいることが示されています
概要では、そりが冷却ゾーンにあることが示されています
概要では、そりが冷却ゾーンにあることが示されています
主な利点
- 複数のプロセスステップを単一のシステムに統合する
- 高速クエンチングサイクル 自動化による高い再現性 反応性ガスを含む様々なプロセスガス雰囲気に対応
- 両ゾーンで制御されたプロセス雰囲気の維持
処理シーケンス
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プロセスチャンバー炉の退避とそれに続くパージ
- 制御された温度ランプによる加熱