不活性ガスパッケージ

Carbolite不活性ガスパッケージは、作業管内の不活性雰囲気を最適化するために、ガス雰囲気作業管パッケージと組み合わせて使用できるように設計されています。許容されるガスは表に示されています。水素や酸素などの可燃性ガスには適していません。

標準的な不活性ガスパッケージには、手動のオン/オフバルブ、圧力計、流量計が含まれています。アドバンスドイナートガスパッケージには、プログラムセグメントで作動する電動バルブが追加されています。

不活性ガスパッケージ

複数のガスパッケージを同時に使用することができます。複数のガスパッケージを組み合わせて使用することが可能で、ユーザーがそれらを固定して組み合わせたアセンブリを作ることができます。

製品の温度調節器がEPC3016P1またはCC-T1の場合、最大2つの高度不活性ガスパッケージを組み合わせることができます。

製品の温度調節器がEPC3008P10またはナノダックの場合、最大で3つの高度な不活性ガスパッケージを組み合わせることができます。

ガスと流量レンジ

gas 流量範囲 チューブ炉 流量範囲 チャンバー炉
空気 1-10 l/min 2-26 l/min
窒素 N2 1-10 l/min 2-27 l/min
argon Ar 1-8 l/min 2-22 l/min
95% N2 / 5% H2 1.2-11 l/min 2-28 l/min
98% Ar / 2% H2 1-9 l/min 2-23 l/min
二酸化炭素 CO2 1-8.5 l/min 2-20 l/min
ヘリウム He 2-20 l/min 2-60 l/min

Avaliable for : CWF, RWF, RHF, AAF, & GSM チャンバー炉

標準の不活性ガスパッケージ:

  • ガス注入口=外径6mmのプッシュインフィッティング
  • 手動ON/OFFボールバルブ
  • 圧力開放弁
  • 圧力計
  • 流量調整ノブ付きフローメーター
  • 逆流防止弁
  • 追加の不活性ガスパッケージを接続するためのフィッティングとパイプ
  • ガス排出口=6mm編組ホースと6mmユニオン
  • 寸法:高さ×幅×奥行き(mm):240×135×215

高度な不活性ガスパッケージ:

  • ガス注入口=外径6mmのプッシュインフィッティング
  • 手動ON/OFFボールバルブ
  • 圧力開放弁
  • 圧力計
  • 流量調整ノブ付きフローメーター
  • 逆流防止弁
  • 追加の不活性ガスパッケージを接続するためのフィッティングとパイプ
  • ガス排出口=6mm編組ホースと6mmユニオン
  • 寸法:高さ×幅×奥行き(mm):240×135×215
  • 電気式のバルブ