Zestawy gazów obojętnych Carbolite zostały zaprojektowane do współpracy z zestawami rur roboczych z atmosferą gazową w celu optymalizacji atmosfery obojętnej wewnątrz rury roboczej. Dopuszczalne gazy przedstawiono w tabeli. Nie nadają się one do gazów palnych, takich jak wodór lub tlen.
Standardowy zestaw do gazu obojętnego zawiera ręczny zawór odcinający wraz z manometrem i przepływomierzem. Zaawansowany zestaw do gazu obojętnego posiada dodatkowo zawór sterowany elektrycznie, który może być aktywowany przez segment programu.
Można używać wielu zestawów gazowych jednocześnie. Użytkownik ma możliwość połączenia ich w jeden zestaw. Jeśli regulator temperatury produktu to EPC3016P1 lub CC-T1, można połączyć maksymalnie dwa zaawansowane zestawy gazów obojętnych. Jeśli regulator temperatury produktu to EPC3008P10 lub nanodac, można połączyć maksymalnie trzy zaawansowane zestawy gazów obojętnych.
gas | flow range |
powietrze | 1-10 l/min |
azot N2 | 1-10 l/min |
argon Ar | 1-8 l/min |
95% N2 / 5% H2 | 1.2-11 l/min |
98% Ar / 2% H2 | 1-9 l/min |
Dwutlenek węgla CO2 | 1-8.5 l/min |
hel He | 2-20 l/min |
Standardowy zestaw gazów obojętnych zawiera:
The advanced inert gas package includes: